Dữ liệu biên mục

Handbook of Silicon Semiconductor Metrology
Loại tài liệu: book
Mã tài liệu: 89174
Mã ngôn ngữ: en
Thông tin xuất bản: Marcel Dekker, Inc.
Tình trạng vật lý: 687 p.
Từ khóa: Measurement; Semiconductors; Inspection
Danh mục: Kỹ thuật điện & điện tử
Môn học: () Bách khoa thư - Sổ tay
Năm xuất bản: 2001
Số sách còn lại: Không giới hạn
Thời gian mượn: Bạn chưa đăng nhập.
Tóm tắt theo nội dung: Containing more than 300 equations and nearly 500 drawings, photographs, and micrographs,this reference surveys key areas such as optical measurements and in-line calibration methods. It describes cleanroom-based measurement technology used during the manufacture of silicon integrated circuits and covers model-based, critical dimension, overlay, acoustic film thickness, dopant dose, junction depth, and electrical measurements; particle and defect detection; and flatness following chemical mechanical polishing. Providing examples of well-developed metrology capability, the book focuses on metrology for lithography, transistor, capacitor, and on-chip interconnect process technologies.
Lưu ý: Sử dụng ứng dụng Bookworm để xem đầy đủ tài liệu.
Bạn đọc có thể tải Bookworm từ App Store hoặc Google play với từ khóa “VNU LIC”.

Bình luận (0)